相信大多數人都知道，在工業上使用的氣氛管式爐中，許多可控氣體是可燃的，在特殊的條件下可能發生爆炸。這種爆炸可能損壞設備和威脅操作人員的人身安全。因此，在設備運行中，應對潛在的危險給予高度重視。在已發生的事件中，特別引人注意的是，必須按照操作...

PECVD系統主要由真空和壓力控制系統、淀積系統、氣體及流量控制、系統安全保護系統、計算機控制等部分組成。該技術是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產生輝光放電，利用輝光放電（或另加發熱體）使樣品升溫到預定的...

滑軌式管式爐是一體化結構設計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。適用于要求升降溫速度比...

壓力燒結爐采用立式結構由爐體、爐升蓋降機構、真空系統、充氣系統，溫控系統等組成。爐體采用雙層水冷結構，內壁為16MnR壓力容器專用鋼，外層優質碳鋼，中間通水冷卻。爐內發熱元件為石墨管，保溫元件為碳氈及石墨復合結構。爐側裝有一觀察孔、紅外測溫...